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简要描述:对于SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子体清洗机基于劳伦斯伯克利国家实验室开发的高效电感耦合等离子体(ICP)放电技术。与传统 ICP 放电技术相比,我们的 Turbo Discharge™技术进一步提高了等离子体强度多达 3 倍。
产物型号:
所属分类:SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机
更新时间:2025-06-24
厂商性质:生产厂家
SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机是 SEMI-KLEEN 系列等离子体清洁器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和样品清洁应用。等离子体源主体由钎焊到不锈钢凸缘的玻璃管构成。所有的真空接头都是玻璃-金属钎焊或金属-金属接触。在源体内没有使用聚合物密封。等离子体源的背面是 1/4 英寸的 VCR 连接器。前侧法兰为 CF2.75″(DN 40 CF)不锈钢。
SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机有两种控制气体流量的方法:手动针阀或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驱动两个外部 MFC 并自动混合两种工艺气体。如果使用外部 MFC 来控制气体流速,则配方可以指定每个 MFC 的气体流速。