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TEM cube多用途样品清洁及储存腔室可用于在高真空下存储多达 8 个 TEM 样品架（极限真空在 10 -7 Torr 范围内）。真空度足够高，可以检查原位 TEM 芯片的泄漏。它还可以配备远程 EM-KLEEN 等离子源，以在腔室中进行等离子清洁。腔室的大小为 9 英寸立方。它可以拟合相当大的 TEM 和 SEM 样品和组件。房间有一个玻璃前门用于观察。
地址：深圳市宝安区胤璇中心大厦罢4栋2802室
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