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简要描述：对于Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列远程等离子体清洗机基于劳伦斯伯克利国家实验室开发的高效电感耦合等离子体（ICP）放电技术。与传统 ICP 放电技术相比，我们的 Turbo Discharge™技术进一步提高了等离子体强度多达 3 倍。
产物型号：
所属分类：Semi-KLEEN Sapphire 等离子清洗机
更新时间：2025-06-25
厂商性质：生产厂家
Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机设计用于支持侵蚀性和腐蚀性工艺气体。等离子室已被更耐化学腐蚀的蓝宝石管所取代。真空密封设计和腔室材料的选择已被优化，以支持等离子体内部的腐蚀性自由基。对于需要对石英腔室进行等离子体蚀刻的应用，SEMI-KLEEN 蓝宝石是比传统石英腔室等离子体源更好的选择。
Semi-KLEEN Sapphire蓝宝石等离子体清洗机已被用于存款薄膜，在原子层沉积系统中薄膜沉积之前清洁样品表面，以及从金属表面清洁碳和氧污染物。客户的测试结果表明，SEMI-KLEEN 等离子体源仅需 2 秒的氢等离子体就可以去除 InGaAs 样品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 蓝宝石等离子体源可用于仅由涡轮泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的压力范围内工作。
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