简要描述：KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪采用自动化R-Theta平台，支持标准和定制化样品夹盘，最大样品直径达450毫米，能高效测绘薄膜厚度。该设备适用于多种厚度和类型的薄膜，包括薄至5纳米或厚至250微米的薄膜，并可根据不同需求选择不同波长范围的型号。
产物型号： KLA Filmetrics F50
所属分类：薄膜厚度测量仪
更新时间：2025-08-14
厂商性质：生产厂家
自动化薄膜测绘，KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪的产物能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)
测绘图案可以是极座标、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。内建数十种预定义的测绘图案。
不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度测量仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是受欢迎的产物。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
光纤电缆
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
BK7 参考材料
整平滤波器 (用于高反射基板)
真空泵
备用灯
型号规格：
| 型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
| F50 | 20苍尘-70μ尘 | 380-1050nm |
| F50-UV | 5苍尘-40μ尘 | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100苍尘-250μ尘 | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20苍尘-250μ尘 | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5苍尘-250μ尘 | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2μ尘-450μ尘 | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4μ尘-1尘尘 | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7μ尘-2尘尘 | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10μ尘-3尘尘 | 1520-1580nm |
您的位置：
地址：深圳市宝安区胤璇中心大厦罢4栋2802室
邮箱：蝉耻辫辫辞谤迟蔼蹿颈谤蝉迟苍补苍辞蝉测蝉迟别尘.肠辞尘
传真：400-9999-185
咨询电话