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核心性能规格

I-V 源测量单元（SMUs）

• ±210 V/100 mA 或 ±210 V/1 A 模块

• 100 fA 测量分辨率

• 搭配可选前置放大器时，测量分辨率可达 10 aA

• 10 mHz – 10 Hz 超低频电容测量

• 100 µF 负载电容

• 四象限运行

• 支持 2 线或 4 线连接

C-V 多频电容单元（CVUs）

• 交流阻抗测量（颁-痴、颁-蹿、颁-迟）

• 1 kHz – 10 MHz 频率范围

• 内置 ±30 V 直流偏置（差分 60 V），可扩展至 ±210 V（差分 420 V）

• 搭配可选 CVIV 多开关模块，可在 I-V 与 C-V 测量间轻松切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元（PMU）

• 两个独立或同步的高速脉冲 I-V 源与测量通道

• 200 MS/s 采样率，5 ns 采样间隔

• ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA

• 瞬态波形捕获模式

• 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率为 10 ns

高压脉冲发生器单元（笔骋鲍）

• 两个高速脉冲电压源通道

• ±40 V（80 V 峰峰值），±800 mA

• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率为 10 ns

I-V/C-V 多开关模块（CVIV）

• 无需重新布线或抬起探针，即可在 I-V 与 C-V 测量间切换

• 无需重新布线或抬起探针，即可将 C-V 测量切换至任意端子

• 支持 ±210 V 直流偏置

远程前置放大器 / 开关模块（RPM）

• 自动在 I-V、C-V 与超快速脉冲式 I-V 测量间切换

• 将 4225-PMU 的电流灵敏度扩展至数十皮安（pA）

• 降低电缆电容影响