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hpAFM 原子力显微镜

扫描仪

• XY 扫描范围选项：10μm / 100μm，24 位分辨率

• Z 扫描范围选项：5μm / 15μm，24 位分辨率

• 分辨率：0.01苍尘

• 采用 XYZ 闭环操作

• 真空样品架，可容纳最大 8 英寸晶圆

• Z 扫描仪解耦

• 最多可承载 500 克样品

Z 电动载物台

• 行程 50mm，分辨率 250nm

XY 电动载物台

• 行程 76mm，分辨率 50nm

原子力显微镜模块

• 射频调制低噪声 635nm 激光器

• 噪声底最大 25 fm/√Hz

• 超尖锐悬臂搭配，磁分辨率 < 14nm

• 视频显微镜：10 倍物镜，数值孔径 0.28，电动对焦；光学分辨率 1μm；电动光学变焦 1 - 5 倍；800 万像素 CMOS 摄像头；软件可调白色光源；侧视摄像头

声学与振动隔离

• 声学、热学及振动隔离舱

• 可选配气氛控制隔离舱

• XYZ 方向 0.5Hz 隔振台

• 可在 - 30°C 至 + 350°C 间加热和冷却

工作模式

• 接触模式原子力显微镜

• 动态模式原子力显微镜

• 横向力显微镜

• 相位成像

• 磁力显微镜

• 力 - 距离曲线及光谱

• 静电力显微镜

• 配备 5mHz 分辨率数字锁相环（PLL）的非接触式原子力显微镜

扩展功能

• 电流传感原子力显微镜（扩展电阻原子力显微镜）

• 纳米光刻

• 粘弹性测量

• 粘附力成像

• 导电原子力显微镜

• 扫描开尔文探针显微镜

• 力调制显微镜

• 带电位仪的电化学原子力显微镜

• 压电响应力显微镜

• 封闭液槽原子力显微镜

• 纳米压痕和划痕测试

• 扫描隧道显微镜

• 纳米力学成像

• 脚本

• 动态横向力

• 扫描微波显微镜

• 面内 / 面外磁场（X 方向 ±0.5T，Z 方向 ±0.12T ）

• 扫描热显微镜

技术规格

• 3D 成像

• 具备图像处理、分析及记录功能

• 可同时进行数据采集

• 成像分辨率最高可达 8192×8192 像素

• 自动确定悬臂频率

• 多用户许可

• 免费软件更新

• 24 位扫描数模转换器

• 24 位 Z 轴数模转换器分辨率

• 基于现场可编程门阵列（贵笔骋础）的数字反馈

• 扫描隧道显微镜（厂罢惭）和原子力显微镜（础贵惭）反馈

• 24 位 200kHz、16 通道模数转换器

• ±10V、16 位偏置电压输出

• 5mHz 分辨率数字锁相环