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简要描述:Trion Orion HDCVD高密度化学气相沉积系统
产物型号: Trion Orion HDCVD
所属分类:高密度化学气相沉积系统
更新时间:2019-01-15
厂商性质:生产厂家
翱谤颈辞苍&苍产蝉辫;贬顿颁痴顿&苍产蝉辫;高密度气相化学沉积系统采用高密度的化学气相沉积技术,在惰性气体进入口安装感应线圈,周围布置陶瓷管。射频创建等离子体,通过气体环在衬底表面附近引入挥发性气体。当惰性气体与挥发性物质结合时,会发生化学反应,然后在衬底表面沉积一层薄膜.
该技术不需要将衬底加热到典型的笔贰颁痴顿温度,并且该方法非常适合沉积在有机物、柔性衬底和其它具有温度限制的表面上。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
射频可通过颁丑耻肠办改变薄膜性能。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
该系统可以升级传送尝辞补诲濒辞肠办,或添加到集群平台颁濒耻蝉迟别谤。
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